中國(guó)臺(tái)灣漢鐘iPM600螺桿泵維修

IPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列 型號(hào)有iPM100,iPM600
用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特點(diǎn)：綠色制造、全新系列干式真空泵
      體積小、耗功低、大幅度降低成本
      用于中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵

漢鐘PD變距系列干式螺桿真空泵主要特點(diǎn)：
漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積
hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內(nèi)的傳輸路徑最短，最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。
漢鐘螺桿真空泵線(xiàn)形密封性佳，泵浦性能佳
Hanbell干式螺桿真空泵，*轉(zhuǎn)子密封線(xiàn)形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達(dá)到更快的抽氣效果，由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。
漢鐘螺桿真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故障率低，維護(hù)容易
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對(duì)轉(zhuǎn)子相互嚙合達(dá)到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì)，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆卸維修也比較容易，因此能縮短維修時(shí)程，降低維修費(fèi)用。
漢鐘螺桿真空泵微電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡(jiǎn)易的操作方式并能顯示真空泵完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對(duì)泵應(yīng)用狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整，在真空泵產(chǎn)生問(wèn)題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)。遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能夠提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場(chǎng)就能夠了解真空泵的運(yùn)行狀態(tài)。
 
漢鐘螺桿真空泵典型應(yīng)用：
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽(yáng)能Solar
冶金系統(tǒng)Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry
鋰電池Battery

PA油螺桿真空泵型號(hào)PA350VSD+,PA585VSD+,PA730VSD+,PA900VSD+,PA1300VSD+,PA1600VSD+,PA1900VSD+
PA VSD+系列真空泵是一款節(jié)能，環(huán)保的永磁變頻微油螺桿真空泵。

高效能

得益于變頻驅(qū)動(dòng)控制，PA VSD+可提供所需的流量而不會(huì)過(guò)量，避免浪費(fèi)能源。新型的螺桿型線(xiàn)設(shè)計(jì)，性能提升。采用IE4高效永磁電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，的降低功耗。

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